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S사 반도체 공장 배기덕트 온도감시 시스템 증설

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작성자 우리시스템 작성일 23-03-23 09:54 조회 781회 댓글 0건

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당사는 2023년 1월 S사 반도체 라인의 배기덕트 온도감시 시스템 증설을 구축 완료 하였습니다.

반도체 라인의 배기 덕트는 2018년 부터 DTS 온도감시 시스템을 구축 하였으며

공장을 증설 하거나, 신설할 때 마다 온도감시 시스템을 구축 또는 증설하여 왔습니다.

 

배기덕트를 온도감시 하는 이유는, 반도체 제조 설비들의 배기구를 밖으로 연결하는

배기덕트 내부에 침전되는 배기가스에 의하여 배기에 문제가 생기는 것을 조기에 감지하고

비 정상적으로 발열하는 상황을 자동으로 감지하기 위한 설비로 운영 되고 있습니다.

 

생산라인의 증설이 있을때 마다 배기덕트도 증설이 있고, 온도감시 시스템도

그에 따라 증설이 있습니다.

 

#배기덕트 온도감시 시스템

#반도체 라인 온도감시 시스템

#DTS온도감시 시스템

#광센서 온도감시 시스템 

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